Тарнай, А.А.; Кириленко, В.К.; Рубіш, В.М.; Гера, Е.В.
(Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2008)
Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією ...