Калиниченко, А.И.; Стрельницкий, В.Е.
(Вопросы атомной науки и техники, 2005)
Теоретически исследуются переменные механические напряжения, возникающие при ионной имплантации в результате передачи импульса иона веществу мишени. На примере ионов C⁺ и Ar⁺ с энергией E = 25…1000 эВ, падающих на углеродную ...