Влияние кристаллографической ориентации на формирование пористой поверхности фосфида индия

Abstract

В данной работе исследовалось влияние кристаллографической ориентации исходной подложки фосфида индия на формирование пористой поверхности. Предложен эффективный механизм порообразования, объясняющий зависимость формы пор от ориентации исходной подложки. В случае кристаллографической ориентации подложки (100) фосфида индия поры имеют форму, близкую к квадратной. Для образцов InP, полученных на подложках с кристаллографической ориентацией (111), система пор имеет сложный характер: поры неравномерно разбросаны по поверхности и имеют треугольную форму.

У даній роботі досліджено вплив кристалографічної орієнтації підложжя фосфіду індію на формування поруватої поверхні. Запропоновано ефективний механізм пороутворення, що пояснює залежність форми пор від орієнтації підложжя. У випадку кристалографічної орієнтації (100) фосфіду індію пори мають форму, близьку до квадратової. Для зразків, одержаних на підложжях з орієнтацією (111), система пор має складний характер: пори нерівномірно розподілені по поверхні кристалу та мають трикутну форму.

The influence of crystallographic orientation of the initial substrate of indium phosphide on the formation of porous surface is investigated. An effective mechanism of pore formation is proposed to explain the dependence of the pores shape on the orientation of the original substrate. In the case of the crystallographic orientation of the indium-phosphide substrate (100), pores have near-square shape. For samples obtained on substrates with crystallographic orientation (111), the pores system is complex: the pores are nonuniformly distributed over the surface and have triangular shape.