Ходаковский, Н.И.; Ларкин, С.Ю.; Галстян, Г.Г.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2011)
В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов ...