Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров

dc.contributor.author	Черняк, Н.Г.
dc.contributor.author	Стеценко, О.В.
dc.date.accessioned	2014-11-15T19:02:01Z
dc.date.available	2014-11-15T19:02:01Z
dc.date.issued	2001
dc.identifier.citation	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70894
dc.description.abstract	Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Сенсоэлектроника	uk_UA
dc.title	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	531.767