Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Черняк, Н.Г.
dc.contributor.author Стеценко, О.В.
dc.date.accessioned 2014-11-15T19:02:01Z
dc.date.available 2014-11-15T19:02:01Z
dc.date.issued 2001
dc.identifier.citation Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 2225-5818
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70894
dc.description.abstract Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демп­фирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject Сенсоэлектроника uk_UA
dc.title Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA
dc.identifier.udc 531.767


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис