Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Брайловский, В.В.
dc.contributor.author Иларионов, О.Е.
dc.date.accessioned 2014-11-15T10:53:12Z
dc.date.available 2014-11-15T10:53:12Z
dc.date.issued 2001
dc.identifier.citation Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 2225-5818
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70842
dc.description.abstract Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject Технология производства uk_UA
dc.title Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA
dc.identifier.udc 621.793.184:621.3.049.76


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис