Брайловский, В.В.; Иларионов, О.Е.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с ...