Касимов, Ф.Д.; Исмайлова, С.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных ...