Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”

dc.contributor.author	Савицкий, Г.В.
dc.contributor.author	Бончик, А.Ю.
dc.contributor.author	Ижнин, И.И.
dc.contributor.author	Кияк, С.Г.
dc.contributor.author	Могиляк, И.А.
dc.contributor.author	Тростинский, И.П.
dc.date.accessioned	2014-11-13T19:49:05Z
dc.date.available	2014-11-13T19:49:05Z
dc.date.issued	2002
dc.identifier.citation	Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” / Г.В. Савицкий, А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, И.А. Могиляк, И.П. Тростинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70808
dc.description.abstract	Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем.	uk_UA
dc.description.abstract	Modernisation of the “Oникс” system for photon annealing of semiconductor wafers was carried out. It has provided to increase a repetition and reproducibility of the temperature-time annealing cycles with small duration at high temperature increasing rate. The control software of the IBM compatible PC allows to form the temperature-time annealing cycle according to adjusted one with the time accuracy established about 0,01 s at the typical annealing time up to 100 s and annealing temperature up to 1000°C.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Новое технологическое оборудование для микроэлектроники	uk_UA
dc.title	Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”	uk_UA
dc.title.alternative	Modernization of the "Oникс" system for photon annealing of semiconductor wafers	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.382: 621.315.59