Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

dc.contributor.author	Дудин, С.В.
dc.contributor.author	Яцков, А.П.
dc.contributor.author	Фареник, В.И.
dc.date.accessioned	2014-11-12T08:00:37Z
dc.date.available	2014-11-12T08:00:37Z
dc.date.issued	2002
dc.identifier.citation	Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов / С.В. Дудин, А.П. Яцков, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 43-50. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70774
dc.description.abstract	Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный прибор «Плазмометр», предназначенный для автоматизированного определения ключевых параметров лабораторной и технологической плазмы.	uk_UA
dc.description.abstract	The review of methods and devices for probe control of plasma technological processes is carried out. A series of "Kontrol" devices using specially designed schemes of the probe signal compensation and processing as well as original algorithms of the analysis of etching curves is described. Versatile instrument "PlasmaMeter" designed for automated definition of key parameters of laboratory and technological plasma is described too.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Новое технологическое оборудование для микроэлектроники	uk_UA
dc.title	Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов	uk_UA
dc.title.alternative	Equipment for probe diagnostics and control of plasma technology processes	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	533.9.082.5