Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003, № 5 за темою "Технология производства"

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003, № 5 за темою "Технология производства"

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением 
    Иванчиков, А.Э.; Кисель, А.М.; Медведева, А.Б.; Плебанович, В.И.; Пономарь, В.Н.; Шикуло, В.Е. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
    Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления ...
  • Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур 
    Лебедева, Т.С.; Шпилевой, П.Б.; Войтович, И.Д. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
    Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования ...
  • Управление импульсным режимом в гальванотехнике 
    Стевич, З.; Райчич-Вуясинович, М.; Стоилькович, З. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
    Импульсная техника находит все более широкое применение в области электрохимии - как в лабораторных условиях, так и в промышленных гальванических установках. Разработан лабораторный вариант системы управления источником ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис