Лебедева, Т.С.; Шпилевой, П.Б.; Войтович, И.Д.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования ...