Ланин, В.Л.; Петухов, И.Б.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2014)
Рассмотрены процессы получения микросварных соединений повышенной плотности в 3D интегральных схемах термозвуковой микросваркой, включающие использование повышенных частот ультразвука, применение микроинструмента с утонением ...