Крушинская, Л.А.; Стельмах, Я.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2011)
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной ...