Поляков, Ю.И.; Картмазов, Г.Н.; Лукирский, Ю.В.; Руденький, С.Г.; Ферлий, Л.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2011)
С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся ...