Суджанская, И.В.; Колесников, Д.А.; Береснев, В.М.; Погребняк, А.Д.; Гриценко, В.И.; Гончаров, И.Ю.; Турбин, П.В.; Торяник, И.Н.
(Вопросы атомной науки и техники, 2011)
AlN-покрытие получено методом вакуумно-дугового осаждения на кремниевой подложке. С использованием растровой ионно-электронной микроскопии показано, что покрытие нитрида алюминия имеет волокнистую структуру. Методом ...