Шулаев, В.М.; Соболь, О.В.; Андреев, А.А.; Неклюдов, И.М.; Столбовой, В.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2009)
Исследован фазовый состав нанокристаллических нитридных покрытий, полученных вакуумно-дуговым
осаждением молибдена в присутствии азота. Обнаружено, что вакуумно-дуговое осаждение высокочистого
молибдена в присутствии ...