Батурин, В.А.; Еремин, С.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2008)
Предложена конструкция экспериментальной установки для масс-спектрометрического анализа нейтральной компоненты потока распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, что позволяет ...