Береснев, В.М.; Копейкина, М.Ю.; Клименко, С.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2008)
Рассмотрены свойства многокомпонентных, многослойных покрытиий на основе TiN, NbN. Исследовано влияние Мо на фазовый состав и структурное состояние многокомпонентных покрытий на основе TiN. Установлено, что путем легирования ...