Калиниченко, А.И.; Перепёлкин, С.С.; Стрельницкий, В.Е.
(Вопросы атомной науки и техники, 2008)
В модели приповерхностного нелокального термоупругого пика иона получено аналитическое выражение для напряжений сжатия σγ в ta-C-покрытии при осаждении потока низкоэнергетических ионов C+ с энергией 25…1000 эВ. При температуре ...