Хороших, В.М.; Леонов, С.А.; Белоус, В.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2008)
Исследовано влияние геометрии подложки на особенности процесса конденсации потоков Ti-плазмы вакуумной дуги в присутствии N₂ или Ar в разрядном промежутке. Характер влияния давления и потенциала подложки на скорость осаждения ...