Корж, А.Ф.; Лонин, Ю.Ф.; Пилипец, Ю.О.; Хованский, Н.А.; Шеремет, В.И.; Широков, Б.М.
(Физическая инженерия поверхности, 2007)
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании
покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения ...