Береснев, В.М.; Погребняк, А.Д.; Азаренков, Н.А.; Фареник, В.И.; Кирик, Г.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2007)
В обзоре рассмотрены закономерности формирования строения, структуры нанокристаллических, нанокомпозитных покрытий, полученных ионно-плазменными методами осаждения. Обсуждаются особенности влияния технологических параметров ...