Кунченко, Ю.В.; Кунченко, В.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2005)
Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации
потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также
характера формируемых слоистых структур в ...