Кунченко, Ю.В.; Кунченко, В.В.; Картмазов, Г.Н.; Неклюдов, И.М.
(Физическая инженерия поверхности, 2004)
Микро, -нанослойный характер структуры формирующегося TiNx покрытия устанавливается путем наблюдения относительного изменения интенсивности отраженного лазерного излучения от поверхности
конденсации в процессе вакуумно-дугового ...