Фареник, В.И.
(Физическая инженерия поверхности, 2004)
В обзоре систематизированы основные результаты фундаментальных и прикладных исследований емкостного и
индуктивного ВЧ разрядов, методы формирования интенсивных ионных потоков низкой энергии, полученные
автором на протяжении ...