Литовченко, С.В.; Береснев, В.М.; Дробышевская, А.А.; Турбин, П.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2012)
В обзоре изложено современное состояние исследований структуры и свойств силицидных
покрытий на молибдене. Приводятся характеристики способов формирования силицидных
покрытий и физических свойств системы кремний-молибден. ...