Тарасова, О.Ю.; Балабай, Р.М.
(Физическая инженерия поверхности, 2012)
Багатошарові напівпровідникові структури, наприклад двошарова структура Sі(111)/Si₃N₄
(0001), представляють собою неоднорідні тіла як по перерізу, так і по площі. Внаслідок цього в наноелектронних виробах у процесі ...