Швец, О.М.; Береснев, В.М.; Турбин, П.В.; Грудницкий, В.В.; Немченко, У.С.; Колесников, Д.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Рассматривается импульсный высокочастотный генератор, применяемый с целью стимуляции осаждения и повышения качества покрытий, формируемых методом вакуумно-дугового осаждения. Принцип работы ВЧ генератора основан на возбуждении ...