Ефимов, В.П.
(Физическая инженерия поверхности, 2010)
Смещение атомов легирования в скрытых треках структуры монокристаллического кремния
приводит к изгибу энергетических зон, т.е. к созданию разделительного электрического поля
для носителей заряда. Образование проводящих ...