Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Комп’ютерні засоби, мережі та системи
→
Комп’ютерні засоби, мережі та системи, 2002
→
Комп’ютерні засоби, мережі та системи, 2002, № 1
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Вербицкий, В.Г.
dc.date.accessioned	2010-03-01T16:28:56Z
dc.date.available	2010-03-01T16:28:56Z
dc.date.issued	2002
dc.identifier.citation	Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции / В.Г. Вербицкий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2002. — № 1. — С. 14-19. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1817-9908
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6354
dc.description.abstract	Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України	uk_UA
dc.title	Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	681.3