Ашкинази, Е.Е.; Шульженко, А.А.; Ральченко, В.Г.; Большаков, А.П.; Конов, В.И.; Соколов, А.Н.; Гаргин, В.Г.
(Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения, 2011)
В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а ...