Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізико-технічних проблем матеріалознавства
→
Наноструктурное материаловедение
→
Наноструктурное материаловедение, 2009
→
Наноструктурное материаловедение, 2009, № 2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Куликовський, B.Ю.
dc.contributor.author	Іващенко, В.І.
dc.contributor.author	Даниленко, М.І.
dc.contributor.author	Vorlicek, V.
dc.contributor.author	Ctvrtlik, R.
dc.contributor.author	Stranyanek, M.
dc.contributor.author	Іващенко Л.А.
dc.date.accessioned	2014-05-23T19:51:04Z
dc.date.available	2014-05-23T19:51:04Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр.	uk_UA
dc.identifier.issn	1996-9988
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/62641
dc.description.abstract	Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури.	uk_UA
dc.description.abstract	Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Исследовали их состав, твердость, модуль упругости, внутренние напряжения и структуру в зависимости от смещения на подложке иее температуры.	uk_UA
dc.description.abstract	Amorphous and crystalline B₄C films were prepared by magnetron sputtering. Film composition, hardness, elastic module, internal tensions and structure were studded depending on substrate bias and substrate temperature (TS). It was established that hardness and elastic module decrease	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Наноструктурное материаловедение
dc.subject	Тонкие пленки и другие двумерные объекты	uk_UA
dc.title	Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	539.217.23.4.461