Яцунский, И.Р.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013)
Для получения микро- и наноструктур пористого кремния предлагается использовать метод неэлектролитического травления MacEtch (metal assisted chemical etching). Представлены результаты исследования морфологии структур, ...