Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона

dc.contributor.author	Спирин, В.Г.
dc.date.accessioned	2014-02-14T23:00:18Z
dc.date.available	2014-02-14T23:00:18Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.citation	Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56230
dc.description.abstract	Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Проектирование. Конструирование	uk_UA
dc.title	Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона	uk_UA
dc.title.alternative	Компенсація систематичних похибок топко плівкових елементів через елементи фотошаблону	uk_UA
dc.title.alternative	Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA