Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe

Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe

Дружинин, А.А. ; Островский, И.П. ; Матвиенко, С.М. ; Вуйцик, А.М.

Інші назви: Багатофункціональний датчик тиску та температури на основі твердих розчинів SiGe
Multifunctional sensor of pressure and temperature based on Si-Ge whiskers

Тема: Сенсоэлектроника. Датчики

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53678

Посилання: Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe / А.А. Дружинин, И.П. Островский, С.М. Матвиенко, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 24-26. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Дата: 2005

Завантажень: 1734

Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe

Анотація:

Предложен интеллектуальный датчик для измерения давления и температуры с коррекцией характеристик кремниевых измерительных тензорезисторов по температуре.

Показати повний запис статті