Ультразвуковая очистка оптико-механических систем

dc.contributor.author	Томаль, В.С.
dc.date.accessioned	2014-01-08T19:07:47Z
dc.date.available	2014-01-08T19:07:47Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52880
dc.description.abstract	Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Ультразвуковая очистка оптико-механических систем	uk_UA
dc.title.alternative	Ультразвукова очистка оптико-механічних систем	uk_UA
dc.title.alternative	Ultrasonic clearing of optics-mechanical systems	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA