Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов

dc.contributor.author	Рева, В.П.
dc.contributor.author	Коринец, С.В.
dc.contributor.author	Писаренко, Л.А.
dc.contributor.author	Духнин, С.Е.
dc.contributor.author	Барсукова, Н.А.
dc.date.accessioned	2014-01-08T18:59:33Z
dc.date.available	2014-01-08T18:59:33Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов / В.П. Рева, С.В. Коринец, Л.А. Писаренко, С.Е. Духнин, Н.А. Барсукова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 46-49. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52877
dc.description.abstract	Рассмотрены технология комплементарных МОП-схем и технология приборов с зарядовой связью на базе стандартной технологии n-канальных МОП-структур. Приведены параметры схем считывания, изготовленных по этим технологиям.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов	uk_UA
dc.title.alternative	Порівняльний аналіз технологій виготовлення кремнієвих схем зчитування інформації з ІЧ-фотодіодів	uk_UA
dc.title.alternative	The technologies of manufacture silicon readout devices for IR sensor, comparative analysis	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA