Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC

dc.contributor.author	Лопин, А.В.
dc.contributor.author	Семёнов, А.В.
dc.contributor.author	Пузиков, В.М.
dc.date.accessioned	2014-01-07T23:04:21Z
dc.date.available	2014-01-07T23:04:21Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52827
dc.description.abstract	На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Сенсоэлектроника	uk_UA
dc.title	Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC	uk_UA
dc.title.alternative	Оптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiC	uk_UA
dc.title.alternative	Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA