Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля

dc.contributor.author	Крылов, В.Н.
dc.contributor.author	Щербакова, Г.Ю.
dc.contributor.author	Козина, Ю.Ю.
dc.date.accessioned	2014-01-07T19:20:12Z
dc.date.available	2014-01-07T19:20:12Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52819
dc.description.abstract	Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля	uk_UA
dc.title.alternative	Позиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролю	uk_UA
dc.title.alternative	Circuits masks images alignment for automatic optical inspection systems	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA