Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
Інші назви:
Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур
Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures
Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
Дата:
2007
Переглядів:
1180
Завантажень:
885
Анотація:
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.
