Інші назви:Комбінований спосіб вирощування епітаксійних шарів напівпровідникових сполук А³В⁵ Combined way of cultivation of epitaxial layers of semiconductor connections А³В⁵
Предлагаемые способ и устройство предназначены для создания многослойных полупроводниковых приборов различного спектрального диапазона, а также структур на основе арсенидгаллиевых соединений.