Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
Інші назви:
Передепітаксійна обробка підкладок GaSb для рідкофазного вирощування гомоепітаксійних шарів
Preepitaxial substrate treatment of GaSb for liquid phase technology homoepitaxial growth
Preepitaxial substrate treatment of GaSb for liquid phase technology homoepitaxial growth
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев / Е.В. Андронова, В.В. Курак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 41-43. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
Дата:
2008
Переглядів:
847
Завантажень:
883
Анотація:
Представлены результаты исследований по оптимизации режимов предэпитаксиальной обработки подложек GaSb химическим травлением в смеси на основе неорганических кислот.
