Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы

dc.contributor.author	Дудин, С.В.
dc.contributor.author	Рафальский, Д.В.
dc.date.accessioned	2013-12-29T22:19:03Z
dc.date.available	2013-12-29T22:19:03Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52330
dc.description.abstract	Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы	uk_UA
dc.title.alternative	Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи	uk_UA
dc.title.alternative	Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA