Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах

Abstract

Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра.

Представлено конструкцію, технологію виготовлення, схему вимірювання параметрів первинних перетворювачів (ПП)мікродатчиків прискорення і тиску з використанням алмазних матеріалів. Описано методику розрахунку і експериментальний спосіб визначення основних параметрів мікродатчиків. Розраховане значення ємності 11 пФ для ПП датчика прискорення добре узгоджується з експериментальними значеннями. Робочий діапазон вимірювання прискорення . від 100 до 1800 м/с2, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 11-20,5 пФ. Для ПП датчика тиску розраховане значення ємності 7 пФ також відповідає експериментальним значенням. Робочий діапазон вимірювання тиску - від 1 до 19,5 кПа, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 6,4 - 11,7 пФ.·

The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 пF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to 1800 m/s2, thus capacity almost linearly varies in a range 11-20,5 пF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 пF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4-11,7 пF.