Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия

dc.contributor.author	Максимчук, Н.В.
dc.contributor.author	Шмырева, А.Н.
dc.contributor.author	Борисов, А.В.
dc.date.accessioned	2013-12-22T01:12:40Z
dc.date.available	2013-12-22T01:12:40Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.citation	Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51987
dc.description.abstract	Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения.	uk_UA
dc.description.abstract	Проведено дослідження властивостей плівок CeOx, виготовлених різними методами. Порівняльний аналіз показав, що метод «окислення металічного дзеркала» даєплівки зі значно кращими характеристиками, ніж метод«вибухового випаровування», хоча останній дає більш високу фоточутливість плівок CeOx та структур на їх осѕнові. При цьому було визначено оптимальну температуру підкладки. Отримані дані розширюють область застосування CeOx-плівок для мікроелектронних сенсорів.	uk_UA
dc.description.abstract	The properties of CeOx films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys "metallic mirror oxidation" method allows to produce films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though the latter method yields higher photosensitivity of CeOx films and structures on their base. In the process the optimal value of the substrate temperature was determined. Obtained data expand the CeOx application potential in microelectronic sensor sphere.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Материалы электроники	uk_UA
dc.title	Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия	uk_UA
dc.title.alternative	Властивості та практичне застосування нанокристалічних плівок оксиду церію	uk_UA
dc.title.alternative	Properties and practical application of thin CeOx films	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA