Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

dc.contributor.author	Дудин, С.В.
dc.contributor.author	Рафальский, Д.В.
dc.contributor.author	Зыков, А.В.
dc.date.accessioned	2013-12-15T22:42:15Z
dc.date.available	2013-12-15T22:42:15Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.citation	Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51911
dc.description.abstract	Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией	uk_UA
dc.title.alternative	Широкоапертурне високочастотне джерело іонів низької енергії· з електронною компенсацією	uk_UA
dc.title.alternative	RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA