Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

dc.contributor.author	Васильев, Ю.К.
dc.contributor.author	Нестеров, С.Б.
dc.contributor.author	Васильева, Т.С.
dc.date.accessioned	2013-12-15T22:39:52Z
dc.date.available	2013-12-15T22:39:52Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.citation	Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51910
dc.description.abstract	Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Обеспечение тепловых режимов	uk_UA
dc.title	Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума	uk_UA
dc.title.alternative	Тенденція розвитку засобів створення і аналізу безмасляного·вакууму	uk_UA
dc.title.alternative	New trends in oil free vacuum generation equipment	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA