Катеринчук, В.Н.; Ковалюк, З.Д.; Хомяк, В.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010)
Качественные пленки In₂O₃ высокой проводимости получены термическим окислением InSe при невысоких температурах. Обнаружена наноструктуризация поверхности оксида в форме наноигл.