Павлович, И.И.; Томашик, З.Ф.; Томашик, В.Н.; Стратийчук, И.Б.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
Разработаны полирующие травители и даны рекомендации по их применению для обработки полупроводниковых материалов, которые используются для изготовления рабочих элементов термоэлектрических приборов.